日本電子JSM-IT710HR掃描電子顯微鏡

JSM-IT710HR是JEOL 以 “任何人都能輕松拍攝高分辨率圖像的SEM" 為理念而推出的HR*系列的第四代產品。操作的自動化和觀察性能的提高，可以實現用戶從可以看見到對未知的探索。

清晰的可見性促進新發現！

目前，除了納米級的分辨率和分析性能外，數據采集的處理能力也被認為是重要的。JSM-IT710HR是JEOL 以 “任何人都能輕松拍攝高分辨率圖像的SEM" 為理念而推出的HR*系列的第四代產品。

JSM-IT710HR操作的自動化和觀察性能的提高，可以實現用戶從可以看見到對未知的探索。

///  超越所見，探索未知 ///

降低荷電:  樣品提供：東京農工大學 工學部生命工學科  朝倉哲郎先生

晶體結構分析:  樣品提供：物質材料研究所(NIMS)  津﨑 兼彰先生

日本電子JSM-IT710HR掃描電子顯微鏡

   新功能                                                                                                                              

1. 自動觀察：Simple SEM/EDS

    Simple SEM 通過一次設定多個條件來實現自動測試，提高了日常工作效率。

2. Live 3D: 實時3D

    在低倍率下可以觀察3D活圖像。

3. 低真空混合二次電子檢測器（LHSED）

    LHSED是新型低真空檢測器，能夠在光發射信息和形貌像之間切換觀察。

4. 肖特基場發射電子槍的穩定性提高了4倍多

> 自動電子束調整

    JSM-IT7010HR從合軸到像散、對焦可以自動調整，不需繁瑣的手動。

> 二次電子檢測系統

     左側樣品：孔雀羽毛,  右側樣品：纖維素微纖維

> 高分辨率和大束流

     JSM-IT710HR的肖特基場發射電子槍和聚光鏡一體化集成，在生成大束流的同時保持小束斑，能夠進行高分辨觀察和分析。

> 背散射電子檢測系統

     新型的多分割背散射檢測器可以同時從4個方向采集背散射信息，生成簡單的3D像并實時顯示。

5. 所有分析都從Zeromag開始

   使用Zeromag的光學像，視野搜尋能力提高；SEM像與光學像聯動，觀察、分析和自動測試簡單化。

6. EDS一體化集成

   JEOL除了SEM，還自主生產和銷售EDS。利用這一優勢，可以集中操作和管理SEM的觀察畫面和EDS分析結果，操作性和數據管理能力得到了提高。

7.  相分析

     JEOL的EDS增加了相分析功能，可以對每種物質（化合物/單體）進行面分布分析。

樣品：精密切削刀片的截面

相分析表明，Co、Cu和Sn富區組分存在差異。

Co area: 68.15%

CuSn (CuRich) area: 16.25%

CuSn (SnRich) area: 14.54%

   應用實例                                                                                                                          

1. 電子器件

    JSM-IT710HR的應用特性：高分辨、高對比度、廣域觀察。

》

》布線圖

利用低真空功能，對布線圖表面進行大面積觀察。

樣品：布線圖表面, 倍率：×200 (左), ×300 (右), 真空壓力： 70 Pa, 加速電壓： 15 kV

》SRAM

》AL焊盤

通過同時獲取低真空二次電子像和背散射電子像，可以獲取大面積試樣表面的形貌信息和成分信息。

樣品：AL焊盤表面,  倍率: ×100, 真空壓力: 70 Pa, 加速電壓: 15 kV

》鋼鐵

適用于EBSD分析的光學系統（肖特基場發射槍和透鏡外物鏡）

》能源和陶瓷

JSM-IT710HR的分析能力和低真空功能

鈣鈦礦太陽能電池基片納米層的高精度分析

陶瓷基片(Si3N4)

低真空功能可以進行非導電樣品分析

加速電壓: 5 kV, 低真空元素面掃 (30 Pa), 機器銑削的氮化硅基片表面*

*表面光潔度：機銑后平面氬離子銑

》軟質材料與生命科學

JSM-IT710HR 的低加速電壓、低真空功能以及超低倍率觀察

ABS樹脂

即使在幾萬倍的放大倍數下，也可以進行高精度和穩定亮度的多幅圖像觀察。

明膠

高亮度，高分辨二次電子像

人造血管

在載玻片上從低倍率到高倍率觀察生物樣品。