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國儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡

簡要描述:國儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具,低電壓高分辨的電子鏡筒,保證納米分析能力。“承影"離子鏡筒提供了高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流,保證納米加工能力。集成式的納米機(jī)械手、氣體注入器,一體化設(shè)計的控制軟件,為您打造全能納米分析和加工中心。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-06-06
  • 訪  問  量:410

詳細(xì)介紹

品牌國儀量子儀器分類FIB
價格區(qū)間500萬-700萬產(chǎn)地國產(chǎn)

國儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具,低電壓高分辨的電子鏡筒,保證納米分析能力。“承影"離子鏡筒提供了高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流,保證納米加工能力。集成式的納米機(jī)械手、氣體注入器,一體化設(shè)計的控制軟件,為您打造全能納米分析和加工中心。

國儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡

國儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡

產(chǎn)品優(yōu)勢

1、高壓隧道技術(shù)和無漏磁物鏡的電子鏡筒,高分辨率成像,兼容磁性樣品

2、“承影"離子鏡筒,高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流,用于高質(zhì)量納米加工和TEM制樣

3、樣品倉內(nèi)壓電陶瓷驅(qū)動的機(jī)械手,集成式控制方式,操作精準(zhǔn)到位

4、自主可控,擴(kuò)展性強,集成化設(shè)計的離子源更換時間快,良好的售后服務(wù)

產(chǎn)品參數(shù)

電子束系統(tǒng)電子槍類型高亮度肖特基場發(fā)射電子槍
分辨率0.9 nm@15 kV
加速電壓20 V ~ 30 kV
離子束系統(tǒng)離子源類型液態(tài)鎵離子源
分辨率3 nm@30 kV
加速電壓500 V ~ 30 kV
樣品室真空系統(tǒng)全自動控制,無油真空系統(tǒng)
攝像頭三攝像頭
(光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控x2)
樣品臺類型五軸機(jī)械優(yōu)中心樣品臺
樣品臺行程X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm
T: -10°~+70°,R: 360°
探測器和擴(kuò)展標(biāo)配鏡筒內(nèi)電子探測器(Inlens)
旁側(cè)二次電子探測器(ETD)
選配插入式背散射電子探測器(BSED)
插入式掃描透射探測器(STEM)
能譜儀(EDS)
背散射衍射(EBSD)
納米機(jī)械手
氣體注入器
等離子清洗
樣品交換倉
軌跡球&旋鈕控制板
軟件語言中文
操作系統(tǒng)Windows
導(dǎo)航光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航
自動功能自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散

技術(shù)介紹

"承影"離子鏡筒

技術(shù)特點

分辨率:3 nm@30 kV

探針電流:1 pA~65 nA

加速電壓范圍:500 V~30 kV

使用壽命:≥1000小時

長時間穩(wěn)定性:72小時不間斷工作

納米機(jī)械手

技術(shù)特點

倉內(nèi)安裝方式

全壓電驅(qū)動

編碼精度≤10nm

最大移動速度2mm/s

集成式控制方式

離子束-電子束協(xié)同

氣體注入器

單氣體注入

多種氣源可選

伸縮距離≥35 mm

重復(fù)定位精度≤10 um

加熱溫度控制精度≤0.1℃

加熱溫度范圍:室溫~90℃

集成式控制方式

應(yīng)用案例

國儀量子DB550聚焦離子束電子束雙束顯微鏡


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