國儀量子HEM6000高速掃描電子顯微鏡是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復合物鏡等技術(shù)，實現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時保證了納米級分辨率。

國儀量子HEM6000高速掃描電子顯微鏡面向應用場景的自動化操作流程設計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

產(chǎn)品特點

高速掃描驅(qū)動器

駐點時間10 ns/pixel，

最快采集速度2*100 M pixel/s

電子過濾系統(tǒng)

SE/BSE信號自由切換，

信號混合比例可調(diào)

全靜電高速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)

可實現(xiàn)高分辨大場模式，

4 nm像素點最大視場達64*64 um2

樣品臺減速技術(shù)

降低入射電子落點電壓，

同時提高回收電子的收集效率

浸沒式電磁復合物鏡

物鏡磁場浸沒樣品

實現(xiàn)了低像差高分辨率

產(chǎn)品優(yōu)勢

1、高速自動化

全自動上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的 5 倍

2、大場低畸變

跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸，實現(xiàn)了更低的場邊緣畸變

3、低壓高分辨

樣品臺減速技術(shù)，實現(xiàn)低落點電壓，同時保證高分辨率

產(chǎn)品參數(shù)

應用領域

半導體工業(yè)

生命科學

材料科學

地質(zhì)科學